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光譜橢偏儀SpecEL-2000-VIS

價  格:詢價

產  地:德國更新時間:2020-10-22 15:01

品  牌:Mikropack型  號:SpecEL-2000-VIS

狀  態:正常點擊量:1252

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SpecEL-2000-VIS from微派克 (Mikropack) 是***款操作便捷的臺式光譜橢偏儀,主要應用于薄膜測量。它具有經濟實用、小巧、便利和擁有便捷的樣品支架以及***鍵化操作等特點。SpecEL-2000-VIS適用于測量平整和半透明的樣品,例如晶圓和玻璃片。
 

光譜橢偏儀測量光的相位和振幅的相對變化而不是傳統的絕對光強(反射測量法)。因此這項技術不同于參考測量法,可以同時得到多重參數。高速測量保證系統可以在5-15秒內得到樣品厚度,同時也可得到反射系數(n)和吸收率(k)與波長(450-900nm)之間的函數。

SpecEL-2000僅有標準橢偏儀價格的***半,卻包括了***個集成的寬光譜光源,導光器件,起偏器,樣品臺,檢偏器,增強光學元件和微型線陣列CCD光譜儀。整個系統的外形尺寸僅有52×33×24cm,入射光的角度固定在70度。

對于不同的層狀和襯底樣品,SpecEL可以測量的層厚在0.1nm到8um之間,精度達到1nm。隨系統還有***套以32位的Windows平臺操作軟件,它具有強大的功能并能提供各種模型,例如Cauchy,OJL,Tauc-Lorentz,Drude,EMA和不同的振蕩器。這套軟件同時存儲了特定的測試模式,減少了煩瑣的反復測量和重復工作。

可以選擇高分辨率的組件,將照射到樣品上的光斑尺寸從2×4mm縮小到200×400um。還有其他可以選擇的組件,例如2維繪圖附件,參照晶圓和各種按需定制的解決方案。



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