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光學(xué)NanoGauge C10178-03J

• 詳細(xì)參數(shù)

  型號(hào)	C10178-03J
  可測(cè)膜厚范圍（玻璃）	150 nm to 50 μm*1
  測(cè)量可重復(fù)性（玻璃）	0.05 nm*2 *3
  測(cè)量準(zhǔn)確性（玻璃）	±0.4 %*3 *4
  光源	Halogen light source
  光斑尺寸	Approx. φ1 mm*3
  工作距離	10 mm*3
  可測(cè)層數(shù)	Max. 10 layers
  分析	FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis
  測(cè)量時(shí)間	19 ms/point*5
  光纖連接頭	φ12 sleeve shape
  外部控制功能	RS-232C, PIPE, Ethernet
  電源	AC100 V to AC120 V , 50 Hz/60 Hz
  功耗	Approx. 230 VA
  測(cè)量波長(zhǎng)范圍	900 nm to 1650 nm
  測(cè)量模式（特征）	supports NIR

  
  

  *1 轉(zhuǎn)換時(shí)玻璃的折射率是1.5 
  
  *2 測(cè)量400 nm玻璃薄膜厚度時(shí)為標(biāo)準(zhǔn)偏差（公差） 
  
  *3 取決于光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大倍數(shù) 
  
  *4 測(cè)量保證范圍同VLSI標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量保證文件***致 
  
  *5 ***短曝光時(shí)間

  產(chǎn)品特性

  ● 高速、高準(zhǔn)確性（可測(cè)膜厚范圍（玻璃）：150 nm-50μm）
  

  
  

  ● 實(shí)時(shí)測(cè)量 
  

  
  

  ● 非恒定膜層的精確測(cè)量 
  

  
  

  ● 分析光學(xué)常量(n, k) 
  

  
  

  ● 可外部控制 
  

  
  

  ● 可以使用特定附件測(cè)量量子產(chǎn)率，反射率，透射率和吸收率

  外形尺寸（單位：mm）

  
  

  
  

  
  

  
  

  

• 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

• 
  

  C10178型光學(xué)納米膜厚測(cè)量系統(tǒng)是***款利用光譜干涉法測(cè)量薄膜厚度的非接觸式測(cè)量系統(tǒng)。光譜干涉法可以快速、高精度以及高靈敏度地測(cè)量出薄膜厚度。C13027使用多通道光譜儀PMA作為檢測(cè)器，測(cè)量各種光學(xué)濾光片和涂膜厚度的同時(shí)還可以測(cè)量量子產(chǎn)率，反射率，透射/吸收率等參數(shù)。

  
  

  
  C10178-03J支持NIR（900 nm至1650 nm）。