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VEGA系列的設計適合各種SEM應用及當今研究和工業的需求。經過10多年的不斷發展，TESCAN已經成功開發、研制和制造了VEGA的第三代產品。新***代的VEGA給用戶帶了*新的技術優勢，包括改進的高性能電子設備使成像速度更快，包含了靜態和動態圖像扭曲補償技術的超快掃描系統，內置的編程軟件等，使VEGA系列產品保持著非常高的性價比。

LaB6發射源

TESCAN能提供介于肖特基與鎢燈絲性能之間的LaB6（六硼化鑭）作為電子發射源。LaB6的優勢包括：穩定的電子發射源（與場發射電子源相比），在陰極較低溫度下可獲取比較高的束流（與鎢燈絲電子源相比）。這就意味著在整個范圍的加速電壓和很長的使用壽命中，LaB6可以保持很高的亮度和分辨率。基于其非常高的發射電流，LaB6是需要大電子束流應用領域的正確選擇。

現代電子光路

• 獨特的四透鏡大視野光路設計提供各種各樣的工作與顯示模式

• 以電磁的方式改變物鏡光闌——中間鏡的作用如同"光闌轉換器"

• 透鏡與線圈的優質材料使成象率達到20ns/像素，并減少了動態扭曲效應

• 結合了完善的電子光學設計軟件的實時電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™），可模擬和優化電子束

• 鏡筒設計提供了全自動電子光路設置，鏡筒不含機械對中結構

• 3維電子束技術提供了實時立體圖像

檢修方便

只要很短的停機檢查后就能保持電鏡長時間處于*佳狀態。每個細節設計得很仔細，使得儀器的效率化，操作*簡化。

自動操作

通過***次點擊就可以進行自動燈絲加熱和電子槍對中。眾多的自動程序減少了用戶的操作時間，并提供了操作的自動導航與自動化分析。通過內置腳本語言（Python）用戶可以進入軟件大多數功能，包括電鏡控制、樣品臺導航、圖像采集、處理與分析。通過腳本語言用戶也可以自定義軟件的自動操作。

用戶界面友好的軟件

• 用戶界面有各種語言版本

• 多用戶界面（包括了EasySEMTM模式）不同賬戶的權利使常規分析過程更快

• 圖像文件管理與報告生成

• 內置的自動系統檢查

• 通過局域網或互聯網可實現電鏡遠程診斷

• 模塊化軟件體系結構

• 標準的軟件模塊包括了：測量工具、圖像處理、對象區域等

• 選配軟件包括了：顆粒度分析、三維表面重構等

VEGA3 LM

VEGA3 LM是***款由計算機控制，可在高真空和低真空模式下工作全自動化鎢燈絲掃描電子顯微鏡，具有突出的光學性能，清晰的數字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征。基于Windows™平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作方式和完整的圖像采集功能，可以保存標準文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現了電鏡的自動設置和許多其它自動操作。

分析潛力：

• LM大樣品室、5軸馬達驅動樣品臺

• 樣品室有11個接口，適用于安裝EDX、EBSD、EBIC等探頭

• ***流YAG 閃爍體探頭

• 選配包括了各種探頭于可選的配件

• 渦輪分子泵和機械泵同時工作，幾分鐘可達到儀器操作需要的真空狀態

• 在可變真空模式下可觀測不導電的樣品（LMU型號）

• 可選的樣品室減振方式

• 3維Metrology軟件提供了三圍重構與3維測量功能

VEGA3配置

VEGA3 LMH

高真空式SEM，配備有5軸馬達驅動樣品臺，適用于觀測小型導電樣品。

VEGA3 LMU
可變真空式SEM，體現了高真空模式和低真空模式的優點。在低真空模式下可以觀測非導電樣品，不需要噴金。

軟件（標配）：

• 測量

• 圖象處理

• 3維掃描

• 硬度測量

• 多圖像校準

• 對象區域

• 自動關機時間

• 公差

• 編程軟件

• 定位

• 投影面積

• EasySEMTM

軟件（選配）：

根據實際配置和需求

配件（標配）：

• 二次電子探頭（SE），ET型二次電子探頭（YAG 閃爍體）

• 可移動式背散射電子探頭（RBSE）*，可移動環行閃爍體類（YAG）具有高靈敏度和原子序數分辨率（0.1Z）

• 探針電流測量

• 壓差式防碰撞報警裝置

• 可觀察樣品室內部的紅外線攝像頭

• 冷臺等，各種附件可供選擇

技術規格：