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儀器介紹:
在鍍膜或刻蝕的過程中,實(shí)時(shí)監(jiān)測樣品膜的膜厚以及光學(xué)常數(shù)(n,k)變化。
 
技術(shù)參數(shù):
?可實(shí)現(xiàn)快速、實(shí)時(shí)在線監(jiān)測樣品膜層變化
 
主要特點(diǎn):
將激發(fā)和探測頭引入生產(chǎn)設(shè)備,可實(shí)現(xiàn):
? 動(dòng)態(tài)模式:實(shí)時(shí)監(jiān)測膜厚變化
? 光譜模式:監(jiān)測薄膜的界面和組分


產(chǎn)品參數(shù)


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