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 產品介紹
特點•采用高精度氣浮軸承線性導軌系統，從而將直線度誤差減少到*小。•采用分辨率為 0.01mm 的玻璃光柵尺，此玻璃光柵尺由位于地下 11 米處的高精密工廠制造。•通過使用熱膨脹系數幾乎為零的玻璃光柵尺，將溫度變化對精度的影響減少到。•使用有限元方法 （Finite Element Method） 分析優化主機的機械結構。•穩定的幾何量精度 .性能參數型號 ULTRA QV404 PRO測量范圍 X 軸 400mmY 軸 400mmZ 軸 200mm分辨率 0.01µm高靈敏度 CCD 照相機 黑 白精度 *（20ºC±0.2ºC）E1XY （0.25 L/1000）µmE1Z （1.5 2L/1000）µm[（1 2L/1000）µm: 10 - 60mm]E2XY （0.5 2L/1000）µm驅動速度 （X/Y/Z 軸） 150mm/sec照明（PRL: 可編程環形照明）表面 鹵素燈輪廓 鹵素燈PRL 鹵素燈放大倍率轉換系統 可編程電動轉盤工作臺玻璃尺寸 493 x 551mm臺面承重 40kg尺寸 （W x D x H）** 1200 x 1735 x 1910mm重量 ** 2150kg