JENAer測量技術公司生產的雙頻激光干涉儀，是世界上******將的蔡司光學鏡用于激光干涉儀領域的制造商。該公司的雙頻激光干涉儀，不僅能夠精確的測量數控機床的幾何量，如線性度、直線度、垂直度、角度、平面度等，還能夠測量數控機床的回轉量等。多軸干涉儀儀更可測量和檢測物體的微位移、擺動振動情況、工作臺的運動情況等。上圖為***個具體的3-軸干涉鏡和3-軸反射鏡系統，光束由激光頭發出后進入干涉鏡，3-軸干涉鏡把輸入的光束分為三個部分：
信號光束1用于位移的測量，信號光束2用于俯仰角的測量，信號光束三用于偏擺角的測量。
所有的光束照射到被測物體（3-軸反射鏡固定在被測物體上）后再次反射到干涉鏡上，每個信號光束與反射的光束進行干涉，然后干涉光束傳輸到激光頭里，進行信號分析后進入到軟件里。
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| 三軸測量軟件（位移、偏擺和俯仰角） | 三角關系的設定 |
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| 測量結果的統計 | 在位置5開始測量 |
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| 位移和角度的完全測量 | ISO230數據統計標準 |
由本公司代理，德***耶拿爾
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滬公網安備31011502016460號
