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高低溫真空探針臺

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-05-12 14:16

品  牌:其他型  號:CGO-2

狀  態:正常點擊量:2862

400-006-7520
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上海非利加實業有限公司

聯 系 人: 上海非利加實業有限公司

電   話: 400-006-7520

傳   真: 400-006-7520

配送方式: 上海自提或三方快遞

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產品參數

高低溫真空探針臺

控溫范圍

4K-480K

溫度穩定性

4 K        + - 0.2 K


77 K     + - 0.1 K


373 K    + - 0.08 K


473 K       + - 0.1 K


823 K       + - 0.2 K(可選)


973 K    + - 1.0K(可選)

常溫到8K冷卻時間:

1小時40分鐘

8K到常溫升溫時間:

1小時30分鐘

 從常溫開始的升溫時間          

200 ℃     550℃     700 ℃

 (4 chuck,單位分:秒)

1:00         1:30         2:00

電源

直流

材質

不銹鋼

功率(4chuck) 

850W

機械規格                               

 針座行程

 X軸方向

25.4mm(1 inch)


可以選擇50.8mm 

 Y軸方向

25.4mm(1 inch)


可以選擇50.8mm 

 Z軸方向

25.4mm(1 inch)


可以選擇50.8mm 

移動精度


 X軸方向

10 micron


可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron

 Y軸方向

10 micron


可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron

 Z軸方向

10 micron


可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron

 探針可旋轉角度

+-5 度



產品介紹

 2/4/6寸高端探針臺 晶圓測試探針臺

     載物Chuck 溫度范圍:4.2K-480K        

外置4個定位針臂

探針X-Y-Z三方向移動,行程:25mm,定位精度:10微米

***多可以外置6個定位針臂

載物chuck 可到2寸

雙屏蔽chuck高低溫時達到100FA 的測試精度

針臂定位精度可以升***為0.7微米

極限真空到10-10 torr

可以選擇射頻配件做67 GHz的射頻測試

可以選擇防震桌

可以選擇超高真空腔體

客戶訂制

 

        

光學部件規格

顯微鏡X-Y軸方向行程

2"*2"


可以選擇4"*4"

總共放大倍率

240X


可以選擇更高倍率

真空腔觀察窗口

2 inch


外部石英材質99%紅外線穿過率


內部吸收紅外線僅可見光通過

光源

150W可連續調節

雙光纖導引


可選附件

防震桌

方形chuck

分子泵組

射頻部件

Chuck可外部移動裝置

客戶定制。



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